三維形貌儀是一種科學(xué)儀器,是用來(lái)偵測(cè)并分析現(xiàn)實(shí)世界中物體或環(huán)境的形狀(幾何構(gòu)造)與外觀(guān)數(shù)據(jù)(如顏色、表面反照率等性質(zhì))??煞譃榻佑|式、非接觸式、激光等類(lèi)型。
三維形貌儀的應(yīng)用有三維表面輪廓測(cè)量、粗糙度測(cè)量、膜的臺(tái)階高度測(cè)量、空間分析和表面紋理表征、曲率測(cè)量、二維薄膜應(yīng)力測(cè)量、表面質(zhì)量和缺陷檢測(cè)等。
本產(chǎn)品適用于各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。多項(xiàng)式配置、數(shù)據(jù)配置、掃描、屏蔽和插值,交互縮放,X-Y和線(xiàn)段剖面,三維線(xiàn)路、混合和固定繪圖,用于階越高度測(cè)量的地區(qū)差異繪圖。
三維表面形貌儀技術(shù)特點(diǎn):
1、每秒一百萬(wàn)張二維圖像
2、無(wú)損表面形貌檢測(cè)和分析
3、高精度在線(xiàn)/離線(xiàn)檢測(cè)
4、模塊化設(shè)計(jì),超高集成靈活性
5、無(wú)需苛刻的工作環(huán)境(振動(dòng),噪聲,溫度等)
6、可應(yīng)用于科研和工業(yè)領(lǐng)域
三維表面形貌儀應(yīng)用領(lǐng)域:
工業(yè):
食品安全在線(xiàn)檢測(cè)
微電子集成電路表面形貌在線(xiàn)檢測(cè)
印刷電路板品質(zhì)檢測(cè)
零件器件表面劃痕損傷檢測(cè)
微機(jī)械精加工質(zhì)量控制,如鐘表,微機(jī)械器件等
電子產(chǎn)品零件在線(xiàn)監(jiān)控,如手機(jī),筆記本電腦,平板等
微流體器件三維形貌檢測(cè)
在線(xiàn)檢測(cè)設(shè)備集成
證件防偽,安檢
科研:
MEMS器件
微機(jī)械零件表面形貌觀(guān)察和測(cè)量
微光學(xué)器件(太赫茲、紅外、微波、天線(xiàn)陣列)三維形貌表征
生命科學(xué):生物組織/生物體的 三維形貌測(cè)量